浙江百盛光电获得双工位全自动平面丈量仪专利提高了晶圆的丈量精度

　　金融界2025年7月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，浙江百盛光电股份有限公司获得一项名为“一种双工位全自动平面丈量仪”的专利，授权公告号CN223166080U，请求日期为2024年10月。

　　专利摘要显现，本实用新型公开了一种双工位全自动平面丈量仪，包含有上料单元、丈量单元以及机械臂；所述丈量单元包含有丈量底板；高精平晶，所述高精平晶设置在所述丈量底板上方；水平载台，所述水平载台具有两个，且别离滑动衔接在所述丈量底板上端；丈量模组，所述丈量模组水平滑动衔接在所述水平载台和所述高精平晶之间；所述丈量底板上设置有暂存托架；所述暂存托架一端设置有U型开口；所述机械臂的结尾滚动衔接有双面吸盘。设置两个用于放置晶圆的水平载台以及能够切换丈量工位的丈量模组，替换进行上料和丈量进程。机械臂和暂存托架对晶圆进行翻面，无需人工帮忙。设置高精平晶为晶圆的水平丈量供给了基准，继而提高了晶圆的丈量精度。

　　天眼查资料显现，浙江百盛光电股份有限公司，成立于2011年，坐落嘉兴市，是一家以从事非金属矿藏制品业为主的企业。企业注册资本5721.91万人民币。经过天眼查大数据分析，浙江百盛光电股份有限公司共对外出资了5家企业，参加招投标项目41次，专利信息136条，此外企业还具有行政许可11个。

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