CD-SEM是什么？

  临界尺度SEM（CD-SEM：临界尺度扫描电子显微镜）是一种专用体系，用于丈量在半导体 晶片上构成的精密图画的尺度。CD-SEM大多数都用在半导体电子设备的生产线。

  照射到样品的CD-SEM一次电子束具有1keV或更低的低能量。下降 CD-SEM电子束的能量可以大大削减因为充电或电子束辐照而对样品形成的损坏。

  经过最大极限地进步扩大倍率校准，能确保CD-SEM丈量的准确性和可重复性。CD-SEM的丈量重复性约为丈量宽度的1％3σ。

  3.然后取得指定丈量方位的线深奥无极。线深奥无极绝大多数都是一个信号，指示所测特征的地势深奥无极照顾。

  线深奥无极用于获取指定方位的尺度。CD-SEM经过核算丈量区域中的像素数主动核算尺度。